華進(jìn)半導(dǎo)體聯(lián)合有研億金共同制定了高純鈦/銅靶材的ASTM標(biāo)準(zhǔn)
2016年11月17日 9:17 3477次瀏覽 來源： 億覽網(wǎng) 分類： 鈦資訊
華進(jìn)半導(dǎo)體封裝技術(shù)研發(fā)中心有限公司聯(lián)合有研億金新材料有限公司共同制定出高純度鈦靶和銅靶材的ASTM(美國材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì)American Society of Testing Materials簡稱)標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)號分別為ASTM F3166和ASTM F3192。該高純鈦/銅靶材主要應(yīng)用于穿硅通孔(TSV)晶圓的金屬化工藝中。標(biāo)準(zhǔn)對靶材金屬的純度、晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量、粘合、表面純凈度，以及靶材的尺寸、表面粗糙度、外觀、可靠性等均作了詳細(xì)規(guī)定。
ASTM是目前國際上最有影響的標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展機(jī)構(gòu)之一，主要制定材料、產(chǎn)品、系統(tǒng)和服務(wù)等領(lǐng)域的特性和性能標(biāo)準(zhǔn)，并在工業(yè)和社會(huì)中得到了廣泛的實(shí)施應(yīng)用。此次華進(jìn)半導(dǎo)體封裝技術(shù)研發(fā)中心有限公司和有研億金新材料有限公司共同制定的靶材標(biāo)準(zhǔn)得到ASTM授權(quán)，標(biāo)志著國產(chǎn)半導(dǎo)體材料已取得國際權(quán)威機(jī)構(gòu)認(rèn)可。
責(zé)任編輯：于璐
如需了解更多信息，請登錄中國有色網(wǎng)：m.gzjcgq.com了解更多信息。
中國有色網(wǎng)聲明：本網(wǎng)所有內(nèi)容的版權(quán)均屬于作者或頁面內(nèi)聲明的版權(quán)人。
凡注明文章來源為“中國有色金屬報(bào)”或 “中國有色網(wǎng)”的文章，均為中國有色網(wǎng)原創(chuàng)或者是合作機(jī)構(gòu)授權(quán)同意發(fā)布的文章。
如需轉(zhuǎn)載，轉(zhuǎn)載方必須與中國有色網(wǎng)（ 郵件：cnmn@cnmn.com.cn 或 電話：010-63971479）聯(lián)系，簽署授權(quán)協(xié)議，取得轉(zhuǎn)載授權(quán)；
凡本網(wǎng)注明“來源：“XXX（非中國有色網(wǎng)或非中國有色金屬報(bào)）”的文章，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，并不構(gòu)成投資建議，僅供讀者參考。
若據(jù)本文章操作，所有后果讀者自負(fù)，中國有色網(wǎng)概不負(fù)任何責(zé)任。
